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アルバック DA-30S ダイアフラム型真空ポンプ

アルバック DA-30S ダイアフラム型真空ポンプ

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■ダイアフラム型真空ポンプ DA-30Sの特長

ダイアフラム型真空ポンプはゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して真空排気を行う真空ポンプです。DAシリーズ(標準型)は排気速度、到達圧力が他に比類のない性能を有しさらに高信頼性を実現。小型・軽量でメンテナンスも容易。
排気速度(実効):50Hz 24L／min 60Hz 30L／min
到達圧力(Pa):26.6×103
電源:1φ100V(50／60Hz)
質量(kg):3.9
吸気管径O.D.φ×I.D.φ:9.0×5.0
最大寸法(W×L×Hmm):132.0×203.0×182.0※サーマルプロテクタ(内蔵)※クリーンルーム内での使用については使用条件をご確認下さい。

メーカー:ULVAC(アルバック)

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